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单晶硅压力变送器:温漂补偿与长期稳定性技术

更新时间:2025-12-17      点击次数:6

温度波动是影响压力测量精度的主要干扰源,单晶硅压力变送器通过材料优化与智能补偿技术,实现了宽温域下的高稳定性,每年稳定性优于0.15%FS,成为精密计量领域的首选设备。其核心技术突破在于将单晶硅材料特性与数字化补偿算法深度融合。

材料级补偿是基础:选用电阻温度系数互补的P型/N型硅材料构建惠斯登电桥,使温度引起的电阻变化相互抵消,零点温度漂移降低至±0.01%FS/10℃。这种先天的材料优势,相较于传统扩散硅变送器,温漂控制能力提升5倍以上。单晶硅的晶格均匀性无缺陷,确保了电阻变化的线性度,为后续补偿提供了良好基础。

激光调阻与智能算法形成双重保障:通过激光调阻技术将温度补偿电路的阻值精度控制在0.01%以内,在-40℃至120℃温域内的零点漂移初步控制在0.05%FS以内。进一步集成高灵敏度温度传感器,实时监测环境温度,通过数字信号处理(DSP)算法动态修正输出信号,使温度影响相对于25℃≤±0.4%标准量程。

长期稳定性还得益于无机械磨损设计:单晶硅敏感芯片直接实现压力-电阻转换,无传动部件,配合316L不锈钢隔离膜片,寿命延长至8-10年。在半导体晶圆制造中,其0.075%FS的综合精度确保了气体输送压力的稳定控制;在航空航天地面试验中,宽温域稳定性满足极端环境测量需求。该产品通过ISO 9001认证,标定具备NIST可追踪性,为测量数据的可靠性提供了权威保障。


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